在無塵室內操作時所要注意的事項

轉載請注明來源： 在無塵室內操作時所要注意的事項http://www.d1bbs.cn/industry/3938.html

在無塵室內操作時所要注意的事項

1.處理芯片時，應該戴上無纖維手套，使用清洗過的干凈鑷子挾持芯片，請勿以手指或其它任何東西接觸芯片，遭碰觸污染過的芯片須經清洗，方得繼續使用：

(1)任何一支鑷子前端(即挾持芯片端)如被碰觸過，或是鑷子掉落地上，應該拿去清洗請勿用紙巾或布擦拭臟鑷子。

(2)芯片清洗后進行下一程序前，若被手指碰觸過，應該重新清洗。

(3)把芯片放置于石英舟上，準備進爐管時，若發現所用鑷子有污損現象或芯片上有顯眼由鑷子所引起的污染，應該將芯片重新清洗，并立即更換干凈的鑷子使用。

2.芯片應該放置盒中，蓋起來存放于規定位置，盡可能不讓它暴露。

3.避免在芯片上談話，以防止唾液濺于芯片上，在芯片進擴散爐前，請特別注意，防止上述動作產生，若芯片上沾有纖維屑時，用氮氣槍噴之。

4.從鐵弗龍(Teflon)晶舟，石英舟(QuartzBoat)等載具(Carrier)上，取出芯片時，應該垂直向上挾起，避免刮傷芯片，顯微鏡鏡頭確已離芯片，方可從吸座上移走芯片。

5.芯片上，若已長上氧化層，在送黃光室前切勿用鉆石刀在芯片上刻記。

6.操作時，不論是否戴上手套，手*不能放進清洗水槽。

7.使用化學站或烤箱處理芯片時，務必將芯片置放于鐵弗龍晶舟內，不可使用塑料盒。

8.擺置芯片于石英舟時，若芯片掉落地上或手中則應該重新清洗芯片，然后再進氧化爐。

9.請勿觸摸芯片盒內部，如被碰觸或有碎芯片污染，應該重作清洗。

10.手套，廢紙及其它雜碎東西，請勿留置于操作臺，手套若燒焦、磨破或纖維質變多應該換新。

11.非經指示，*不可開啟不熟悉的儀器及各種開關閥控制鈕或把手。

12.奇怪的味道或反應異常的溶液，顏色，聲響等請即通知人員。

13.儀器因操作錯誤而有任何損壞時，務必立刻告知負責人員或老師。

14.芯片盒進出無塵室須保持干凈，并以保鮮膜封裝，違者不得進入。

15.無塵室內一律使用原子筆及無塵筆記本做記錄，一般紙張與鉛筆不得攜入。